作者：穆林枫,张文栋,何常德,薛晨阳 单位：中国兵工学会 出版：《测试技术学报》2015年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCSJS2015010070 DOC编号：DOCCSJS2015010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于MEMS技术的微电容超声传感器(CMUT)，因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点，成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理，提出了跨阻放大器检测电路，它能将电容信号转换为相应的电压信号(C/V转换)，再通过放大、滤波得出电容的变化量.该电路能很好地抑制杂散电容的影响，有很好的线性和稳定性，在400kHz的超声波作用下的灵敏度为1.64mV/fF，基本满足对超声传感器电容变化量的检测。

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