作者：李玉玲,齐虹,张岩 单位：黑龙江省信息技术学会 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHDZJ2012060310 DOC编号：DOCHDZJ2012060319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《加速度传感器芯片湿法加工技术研究》PDF+DOC2013年第12期 张岩,尚瑛琦,王晓光,刘智辉 《四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用》PDF+DOC2001年第06期 张为,姚素英,刘艳艳,王涌萍,阎富兰,田莉萍,牛秀文 《TMAH在压力传感器制作中的应用》PDF+DOC2000年第06期 刘洪,姚素英,曲宏伟,张生才,张维新,毛赣如 《基于MEMS技术的热式质量流量传感器》PDF+DOC2005年第01期 斯东浩,李艳松 《热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析》PDF+DOC2003年第02期 张昭勇,秦明,黄庆安,朱昊 《热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析》PDF+DOC2002年第06期 张昭勇,张昭猛,秦明,黄庆安

    • 通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究，分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数，及在制作流量芯片中的具体应用实例，实现了微米级厚度薄膜释放，为流量传感器和其它需要超薄薄膜微结构的制作奠定了基础。

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