作者：刘卫平,葛劢冲 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2012年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2012040110 DOC编号：DOCDGZS2012040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种光刻机超高压汞灯电源，采用模拟功率反馈控制，有效提高了光源稳定性；重点阐述了恒功率控制的原理和主要电路结构。

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