作者:梁圣法,李冬梅,陈鑫,詹爽,刘明 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2012年第07期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2012070180 DOC编号:DOCCGQJ2012070189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 制作了一种工作于室温下的NO2气体传感器。该传感器以有机聚合物聚3—己基噻吩(P3HT)为敏感材料,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜为柔性衬底。对敏感膜进行了SEM表征。室温下,对不同体积分数的NO2进行了测试,对器件尺寸的影响进行了分析,并对响应规律进行了总结。经实验,对NO2测试下限可达到0.2×10-6。为提高敏感性、减小恢复时间,尝试对敏感膜掺杂TiO2,并同未掺杂的敏感膜进行实验比较,发现对体积分数1.5×10-6的NO2,掺杂TiO2可将敏感性提高8%,恢复性也有明显改善,对周期为1060 s的循环测试表明:掺杂TiO2下阻值基本能完全恢复。

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