作者：田英,熊继军,关新锋,李佩青,孟青,丑修建 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2012年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2012090080 DOC编号：DOCBDTQ2012090089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS红外微辐射源的研制及应用》PDF+DOC2011年第09期 纪新明,彭晶,方兴,黄宜平 《基于纳米黑硅的新型MEMS红外光源》PDF+DOC2015年第05期 任耀辉,谭秋林,欧文,明安杰,熊继军,陈大鹏 《能斯达:努力成为国际一流的MEMS传感器设计企业》PDF+DOC 《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC2014年第07期 李军,赵军 《基于Si基集成技术的智能传感器应用》PDF+DOC2018年第11期 吴开拓,张继华,张万里 《多功能模块化MEMS组装与封装设备研究分析》PDF+DOC2018年第04期 张志能 《MEMS热激发红外脉冲光源》PDF+DOC2006年第03期 吴飞蝶,纪新明,王建业,周嘉,黄宜平,包宗明,鲍敏杭 《MEMS微型NO_2气体传感器的研究》PDF+DOC2009年第02期 刘鑫 《基于微机电系统红外光源的长光程气体检测》PDF+DOC2014年第04期 杜彬彬,张鹏,高文宏,石云波,朱林泉 《一种新型的电离式MEMS气体传感器》PDF+DOC2013年第04期 詹昌华,潘元志,赵小林,侯中宇

    • 首先介绍了红外光源的类型，从波长范围、调制频率、输出功率以及制作成本等方面比较了三种不同类型红外光源的优缺点。分析了基于微机电系统(MEMS)加工技术的红外光源工作原理和类型。系统综述了MEMS红外光源的国内外研究现状，包括不同辐射层材料和不同结构的MEMS红外光源。详细描述了MEMS红外光源在红外气体传感器、目标识别装置、红外通信装置中的应用。讨论了其在结构设计和加工过程中存在的高辐射率发光材料的制作、红外光源薄膜热应力的释放以及机械强度低等技术瓶颈问题，并简单展望了MEMS红外光源的未来发展趋势。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS红外微辐射源的研制及应用》PDF+DOC 结合MEMS工艺研制了一种可用于红外气体传感器的低成本电调制MEMS辐射光源。辐射源主要由Si_3N_4/SiO_2的复合支撑薄膜和铂金发热电极组成。在2~15μm的红外辐射波段，有足够强的辐射强度，可产生相当于黑体300~850K的红外辐射，其辐射效率达到10.9%；辐射源的动态调制频率可达到10......
    2. 《基于纳米黑硅的新型MEMS红外光源》PDF+DOC 结合等离子体处理制备黑硅技术，研究了一种可用于非色散红外吸收光谱(non-dispersive infra-red，NDIR)气体传感器的微机电(micro-electro-mechanical systems，MEMS)红外光源。相较于其他MEMS红外光源，该光源以新型纳米黑硅材料作为辐射层，黑硅......
    3. 《能斯达:努力成为国际一流的MEMS传感器设计企业》PDF+DOC 物联网的世界一定离不开传感器，而MEMS传感器则是这其中更为重要的组成部分。随着中国物联网产业的不断进步和发展，近几年来中国涌现出一大批从事于MEMS传感器的设计企业。成立于2013年8月29日的苏州能斯达电子科技有限公司，三位创始人均来自中科院苏州纳米研究所，专注于微纳传感器、微机电系统...
    4. 《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC 介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状，分析了典型的商用MEMS传感器，针对煤矿井下传感器应用特点，重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性。最后，对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望。...
    5. 《基于Si基集成技术的智能传感器应用》PDF+DOC 随着传感器向小型化、集成化、智能化方向发展，以微机电系统(MEMS)和集成电路(IC)工艺技术为基础制备智能传感器，已成为传感器领域的研究热点。本文介绍了传感器发展的历程，详述了智能传感器中Si基集成技术的单片集成(异质生长和离子注入剥离)和混合集成技术两类三种实现方法，并结合国内外现状，介绍了其在......
    6. 《多功能模块化MEMS组装与封装设备研究分析》PDF+DOC 研究分析了多功能模块化MEMS的背景、发展现状及工艺，采用模块化技术，研究具有一定通用性的多功能组装模块和封装模块，并将柔性自动化微操作技术与模块化MEMS组装与封装工艺设备结合起来，研究适用于多种MEMS器件、高效率、高质量的柔性自动化MEMS组装与封装关键设备，实现MEMS从组装到封装的后端制造......
    7. 《MEMS热激发红外脉冲光源》PDF+DOC 设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源，并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示，发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量，调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。...
    8. 《MEMS微型NO_2气体传感器的研究》PDF+DOC 采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器，选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜，从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程，并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性，该传感器可以检测到10-6量级......
    9. 《基于微机电系统红外光源的长光程气体检测》PDF+DOC 针对红外气体传感器对光源的要求，选用了一种宽波长、高调制频率、低功耗的小体积微机电系统(micro-electro-mechanic system，MEMS)红外光源作为辐射源，其各项性能均能很好的满足红外传感系统对于光源的要求。由于其面光源的朗伯辐射特性，整形之后的红外光数值孔径仍然很大，采用传统......
    10. 《一种新型的电离式MEMS气体传感器》PDF+DOC 实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器，即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分，这样可以避免高电压对器件的影响，提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验，测出了不同的伏安特性曲线和电导率值，......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。