作者：罗志勇,顾英姿,陈朝晖 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2012年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2012110200 DOC编号：DOCGXXB2012110209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以相移干涉测长为应用背景，提出了一种基于“机械扫描”的相移测长方法。利用超高弹性石英材料研制出了干涉测长所需的单体3路相移装置，并利用该相移装置建成了相移测长装置，成功地将位移传感器的量值在线溯源到光学频率标准，从而实现了对3路相移的准确测量。介绍了一种引入步长控制误差的“新五幅相移”实现相位解算方法，算法准确度达到0.01%。对不确定度的定量分析结果表明，基于该机械扫描式相移技术构建的绝对长度测量系统准确度可达0.5nm。

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