作者：王东兴,刘晓廉,焦兵兵,刘跃 单位：哈尔滨理工大学 出版：《哈尔滨理工大学学报》2012年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLGX2012020300 DOC编号：DOCHLGX2012020309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 实验采用溅射和蒸发镀膜工艺，制备了一种新型的Al/CuPc/Cu三明治结构NO2气敏传感器.这种器件对NO2气体具有较高的敏感性，制备工艺简单，成本较低.通过研究其在NO2气体中电学特性的变化，来表征其敏感特性.研究结果表明，在10 ppm的NO2气体环境中，器件的正向电流明显增大.通过比较器件在空气和NO2气体中器件的肖特基势垒高度的变化，发现通入NO2气体50分钟后，CuPc/Al势垒高度降低了60 meV，正向整流电流增加77倍。

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