作者：周达华,宗思光,蒋冰莉 单位：中国电子科技集团公司光电研究院 出版：《光电技术应用》2012年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDYG2012060140 DOC编号：DOCGDYG2012060149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 光纤微机械电子系统(MEMS)传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器，具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点。针对低频声场测量需要，研究了光纤MEMS测声理论，建立了法布里-珀罗(F-P)干涉测声的理论模型，设计并制作了光纤MEMS低频声传感器样品。实测表明，光纤MEMS性能可满足对4~5 000 Hz频段对声波的高灵敏测量。

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