作者:廉德钦,何常德,苗静,杜春晖,宛克敬,薛晨阳 单位:哈尔滨电工仪表研究所有限公司;中国仪器仪表学会电滋;测量信息处理仪器分会 出版:《电测与仪表》2012年第07期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDCYQ2012070230 DOC编号:DOCDCYQ2012070239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难。本文提出的半桥式交流电容检测电路能把快速变化的电容信号转换为电压信号,并加载到高频正弦激励信号中,再通过放大、解调、滤波得出电容变化量。该电路能很好地抑制寄生电容的影响,有良好的线性和稳定性,在200kHz的超声波作用下灵敏度可以达到2.8mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测。

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