作者： 单位：中国航天系统科学与工程研究院 出版：《军民两用技术与产品》2012年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHTJM2012080350 DOC编号：DOCHTJM2012080359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 可检测50cm高低差气压变化的绝对压力传感器日本欧姆龙株式会社开发出了可检测50cm高低差气压变化(约6Pa)的压电电阻式“绝对压力传感器”。该传感器是以真空状态为零气压来检测压力的传感器，使用MEMS接合技术对传感器芯片内部实施真空密封处理，能够检测出大气与真空状态的压差(绝对压力)；同时，通过使用MEMS接合技术，可确保在传感器芯片内部留有较大的真空腔容积，

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