作者：满海鸥,肖定邦,吴学忠,陈志华,侯占强 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012050160 DOC编号：DOCCGJS2012050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对硅微陀螺的零偏受环境温度影响比较敏感的问题，研究了一种新的温度补偿方案。通过研究驱动频率的温度特性，发现驱动频率与温度之间存在很好的线性关系，经过适当的标定，驱动频率可以作为内置温度传感器取代传统的温度传感器，解决了传统传感器温度不准确和测量滞后的问题。建立了驱动频率与零偏的模型，对硅微陀螺的零偏进行了温度补偿验证。验证试验表明，在-40℃～60℃全温区范围内，零偏温度灵敏度由0.053&#176；/(s.℃)提高到0.00244&#176；/(s.℃)，有效地改善了全温区的零偏温度系数。

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