作者：齐虹,王明伟,丁文波,李玉玲,王晓光 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016080090 DOC编号：DOCCGQJ2016080099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手，分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响。同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析，并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证，结果表明：该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 m V/gn以上，非线性优于2%。

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