作者：宋殿友,刘铁根,丁小昆,李志宏 单位：上海市激光研究所 出版：《应用激光》2012年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYJG2012010140 DOC编号：DOCYYJG2012010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为满足精密薄板厚度在线测量的精密性、实时性和可靠性要求，将基于调制、带通滤波和峰值检测的信号处理技术与激光三角法相结合，设计了高精度PSD微位移传感器，并利用多个传感器和差动三角法制作了采样速率达到1 kHz，测量厚度范围为6 mm，测量精度可达10μm的薄板多点测厚系统原理样机。系统基于SOPC技术，在FPGA内扩展了多个串口作为测量数据传输通道，同时采用ARM9微处理器做控制中心，利用其内部的SMC(静态存储控制器)与FPGA连接，实现了测量数据的实时传输、处理和显示。最后，对系统的稳定性以及影响因素进行了测量和分析。

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