作者：马志兵 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2013年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2013020130 DOC编号：DOCZKKX2013020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析，直接输出数字信号。配以温度补偿技术，保证它的高精度。通过用高精度真空计校准，并与之比较，其测量结果达到预期。

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