作者：周启武,凌旭 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2014年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2014060270 DOC编号：DOCYBJS2014060279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《大量程纳米位移传感器的微纳加工制造》PDF+DOC2015年第10期 许卓,杨杰,王成,陈东红,丑修建 《光场式时栅传感器信号产生与采集的硬件系统设计》PDF+DOC2017年第05期 朱革,高宇,付敏,昌驰,许现波 《纳米时栅位移传感器的理论模型与误差分析》PDF+DOC2014年第05期 刘小康,彭凯,王先全,朱革 《基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究》PDF+DOC2013年第12期 凌旭,王先全,冯济琴,蒲红吉 《纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究》PDF+DOC2013年第10期 刘小康,蒲红吉,郑方燕,冯济琴,于治成 《纳米时栅传感器高精度激励信号源研究与设计》PDF+DOC2015年第07期 黄沛,郑方燕,冯济琴,陈自然 《典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析》PDF+DOC2018年第10期 彭东林,付敏,陈锡侯,刘小康,汤其富,武亮 《时栅位移传感器原理与发展历程》PDF+DOC2010年第10期 彭东林,刘小康,张兴红,陈锡侯,朱革,杨继森,王先全,高忠华,郑方燕 《时栅位移传感器研究》PDF+DOC2006年第05期 彭东林,刘小康,张兴红,陈锡候 《纳米时栅传感器数字信号处理系统设计》PDF+DOC2013年第11期 于治成,郑方燕,冯济琴,蒲红吉,凌旭

    • 为了研究性能稳定、纳米级精度、大量程的位移测量传感器，提出了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。根据纳米时栅试验系统要求，设计一套实验基座机构安装定尺，利用虚拟仪器试验平台，设计纳米时栅试验激励信号，利用精密气浮直线导轨系统的高精度，实现纳米时栅动尺的运动控制。试验表明：纳米时栅传感器在200 mm范围内误差为&#177；300 nm.通过超精密试验系统的设计，为纳米时栅传感器特性的研究提供了保障。

    📙 相关资料

    1. 《大量程纳米位移传感器的微纳加工制造》PDF+DOC 针对解决大量程纳米位移精度测量难度大的问题，提出了新型纳米时栅传感器。就大量程、高精度位移传感器的亚微米精度加工而言，宏观尺度范围内周期性结构单元一致性制造是保证位移传感器可靠性和高精度测量的关键所在。对上述提出的问题，采用高精度自动拼接曝光技术加工并实现了大量程标尺的图形转移，结合微纳加工方式实现......
    2. 《光场式时栅传感器信号产生与采集的硬件系统设计》PDF+DOC 针对传统光学位移传感器的制造设备昂贵及时栅传感器中存在的抗电磁干扰能力差、制造精度不高等问题，设计了一种基于交变光场时空耦合和光刻技术的光场式时栅传感器。根据光场式时栅传感器测量系统的要求，利用DDS技术生成了光场式时栅的激励信号，并完成了LED光源的驱动电路设计，得到了时栅的交变光场信号；设计了基......
    3. 《纳米时栅位移传感器的理论模型与误差分析》PDF+DOC 纳米位移测量技术及器件是实现纳米精度定位与控制的“眼睛”，针对现有的纳米位移测量方法在大量程和高精度之间难以兼顾的现状，提出一种基于交变电场的驻波合成电行波的新方法，研究一种新型的纳米时栅位移传感器。对纳米时栅的工作原理进行了详细分析，构建了一个受4路位移信息调制的行波表达式，通过对表达式的理论推导......
    4. 《基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究》PDF+DOC 为了实现制造成本低、抗干扰性强、性能稳定的大量程、纳米精度位移测量，研究了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。利用虚拟仪器开发平台LabVIEW软件和PXI—5422任意波形发生器硬件设备相结合，实现标准波形的频率、幅值、相位的设置等功能。实验得出：通过调节激励信号的幅值可以避免安装位置的不同......
    5. 《纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究》PDF+DOC 针对现有纳米测量技术量程小和测量环境要求苛刻等不足，提出研究一种以高频时钟脉冲作为计量基准的新型纳米位移传感器，利用差动平行电容极板构建的交变电场进行精密测量。为了优化传感参数并提高测量精度，对纳米时栅传感器在不同参数条件下的电场分布与误差特性进行了研究。首先根据其测量特征，利用ANSYS软件建立二......
    6. 《纳米时栅传感器高精度激励信号源研究与设计》PDF+DOC 纳米时栅利用正交变化电场构建的运动参考系进行测量，激励信号精度直接影响运动参考系匀速性，进而影响测量精度。针对纳米时栅需要高精度激励信号的要求，设计了一种采用闭环控制结构的高精度激励信号源，该信号源采用单片FPGA实现总体控制，完成采集控制、数据处理和波形数据产生等功能，利用16位高精度数据转换器构......
    7. 《典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析》PDF+DOC 对现有广泛使用的主要位移传感器和全新原理的时栅位移传感器，按其测量基准、测量原理、数学模型和刻划媒介等方面的不同进行了科学分类，分析其间的联系与差别、优势与不足、各自适用的场合等技术特征。介绍时栅在测量原理上的先进性，经权威部门——中国测试技术研究院检定：目前圆式、直线式时栅的测量精度分别达到&am......
    8. 《时栅位移传感器原理与发展历程》PDF+DOC 回顾了时栅传感器从原理创新思想、全新技术、高品质产品到新兴产业十多年的发展历程。介绍了时栅传感器的基本原理、应用情况以及迄今所取得的社会评价等。...
    9. 《时栅位移传感器研究》PDF+DOC 为了解决传统测量技术对精密制造的过分依赖问题，研究者经过多年努力研制成功一种全新原理的位移传感器———时栅传感器.实践表明它具有高精度低成本和智能化等显著优点，目前正在产品化过程之中。...
    10. 《纳米时栅传感器数字信号处理系统设计》PDF+DOC 针对大量程纳米级精度测量难的问题，结合时栅传感器的基本原理，提出一种基于交变电场耦合的纳米时栅传感器。利用Nutt内插法对影响时栅精度的关键因素—时间量进行精密测量，降低了系统对插补脉冲频率的要求，提高了测量分辨率。采用SOPC技术设计纳米时栅信号处理系统，保证了系统高性能实时测量。实验结果表明，该......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。