作者：蒋玉贺 单位：中国电子科技集团公司第四十七研究所 出版：《微处理机》2014年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWCLJ2014060040 DOC编号：DOCWCLJ2014060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 激光图形发生器是一种用于图形转化的硬件接口设备，直接影响着掩膜版的加工质量。激光图形发生器曝光过程中出现的曝光偏移、曝光遗漏问题，严重影响了掩膜版加工的质量和成品率。通过实验和分析，总结了产生曝光偏移、曝光遗漏的一些原因。

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