作者：刘航,李洋 单位：吉林建筑大学 出版：《吉林建筑大学学报》2015年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJZ2015020180 DOC编号：DOCJLJZ2015020189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微热板是微结构气敏元件的重要组成部分，采用Si作为基底，通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层，在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真，通过仿真得到的结果和数据，对器件的整体结构和尺寸进行优化。

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