作者：安春华,武文革,成云平,杜晓军 单位：中国机械工程学会;北京机床研究所 出版：《制造技术与机床》2015年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZJYC2015060360 DOC编号：DOCZJYC2015060369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了获得性能优良的切削力测量传感器，设计了两种结构的切削力测量用镍铬合金薄膜传感器。采用相同工艺分别制作了Ti6Al4V和45钢材料的基片，并对比分析了基片的表面质量。优选出钛合金作为基底，在其上制备了所设计的两种结构的薄膜传感器样品，测量了传感器敏感栅尺寸、薄膜电阻率、电阻栅薄膜厚度、传感器电阻值，分析了传感器电阻值的影响因素。

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