作者：冯涛,王培,景文峰,粘洪强,徐兵,夏金峰,蒋丹宇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2014年第11期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2014110030 DOC编号：DOCCGJS2014110039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 实验中采用的三种粉体，对其化学成分、物相组成、颗粒形貌、比表面积、和流延配方的匹配性、烧结性能、制备的片式传感器的性能进行了综合评估。结果表明POWDER A粉体适合流延成型，但是烧结温度较高(1 500℃)，且烧结陶瓷中会有较多的小尺寸的气孔存在，这是由于粉体中存在两种物相的氧化锆，可以制备出有很好响应的片式氧传感器。POWDER C粉体流延时制备的基片性能较软，导致后续工艺较难完成，且制备的片式传感器样品没有测得信号；POWDER B粉体制备的基片较脆，且其中的杂质含量较高，制备的片式传感器样品没有测得信号。得出对流延成型制备片式氧传感器用YSZ粉体的要求：Si及Fe的含量尽可能少；颗粒具有粒径小、粒度分布单分散；比表面积控制在12~15 m2/g左右。

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