作者：李新,薛阳,李春风 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015080050 DOC编号：DOCYBJS2015080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析，最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨，表明通过多晶硅牺牲层技术能更好地得到Si O2-Si3N4-Si O2复合谐振梁，具有良好的选频特性。

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