作者：焦文龙,苑伟政 单位：中国机械工业联合会科技工作部;机械与电子杂志社 出版：《机械与电子》2016年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXYD2016060050 DOC编号：DOCJXYD2016060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 具有微型化、多域耦合等特点的MEMS传感器对设计具有高精度、高效率、迭代设计、结构与电路联合设计等要求。基于组件库或集总参数的MEMS系统级设计方法虽然满足了这些要求，但在面向特定器件的定制化设计方面却略显不足。以一MEMS谐振式压力传感器为例，提出了一种全参数化系统级建模与仿真方法。在建立的详细数学模型基础上，通过硬件描述语言对传感器谐振子按照详细拓扑结构进行了建模与仿真。仿真结果和实验结果的对比显示这是一种满足MEMS设计要求的建模与仿真方法。

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