作者：张久超,谭晓兰,康杰 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016010380 DOC编号：DOCCGQJ2016010389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用，基于多铁纳米纤维敏感材料，利用MEMS技术、静电纺丝技术，设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析，得出纳米纤维直径越小，长度越大，即电极间距越大，纤维端电势越高，灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工艺过程，制作出了传感器样片。分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题，提出了可行的工艺方法。

    📙 相关资料

    1. 《静电纺丝纳米纤维在传感器与MEMS中的应用》PDF+DOC 静电纺丝技术是一种简单、快速制备纳米纤维的方法，已成为目前纳米材料制造领域研究的热点；静电纺丝纳米纤维以结构均匀、比表面积大、易于改性等优点，在电子器件、生物医学领域、滤材等方面广泛应用.文章介绍了功能性纳米纤维的制备方法、有序纳米纤维的研究现状，分析了纳米纤维在传感器和微机电系统中的应用。...
    2. 《一种基于多铁压电纳米纤维压力传感器设计》PDF+DOC 设计了一种基于静电纺丝技术制备的多铁压电纳米纤维微压力传感器结构，对其工作原理做出了理论分析。近似平行排列的纳米纤维沉积到叉指电极上，电极材料生长于硅基底方形弹性膜片上表面，用小挠度理论设计计算了方膜结构，并对固支结构的纤维进行了力学分析。由纤维压电效应计算出传感器输出电压，并对传感器的结构尺寸进行......
    3. 《基于SnO_2-CuO纳米纤维的薄膜型H_2S传感器研究》PDF+DOC 采用同轴静电纺丝技术制备了SnO_2-CuO复合纳米纤维，采用提拉法将SnO_2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜，设计了一种新型薄膜式H_2S传感器。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱(XPS)表征SnO_2-CuO纳米纤维的相组成和微观形貌，分析......
    4. 《基于ZnO-SnO_2纳米纤维的化学链燃烧式甲烷传感器研究》PDF+DOC 采用双喷嘴静电纺丝技术制备了ZnO-SnO_2纳米纤维，将制备的ZnO-SnO_2纳米纤维均匀涂覆于铂热敏电阻表面形成催化薄膜，设计了一种新型化学链燃烧式甲烷传感器。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、全自动程序化学吸附仪和X-射线光电子能谱仪，表征了ZnO-SnO_2纳米纤维的相组成和微观形貌，讨论......
    5. 《BiFeO_3纳米纤维压电式压力传感器的制备工艺研究》PDF+DOC 以铁酸铋(BiFeO_3，BFO)作为压力敏感材料，利用其压电特性，将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合，设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器，得到质量较高的传感器样片.分析工艺流程，得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260μm，接着制备电极......
    6. 《静电纺丝纳米纤维的制备与应用》PDF+DOC 静电纺丝技术是一种简单有效、廉价、无污染的制备纳米纤维的新方法，近年来在制备纳米纤维领域得到了广泛应用.通过静电纺丝法制备的纳米纤维具有长径比大、孔隙率高、比表面积大等优点，在过滤材料、生物医学、传感器、电子器件等领域都有着良好的应用前景.本文综述了静电纺丝制备纳米纤维的基本原理和最新发展，阐述了近......
    7. 《基于PZT纳米纤维柔性压力传感器的研制》PDF+DOC 设计制作了一种柔性压力传感器，以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底，用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上，再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪......
    8. 《静电纺丝制备光电功能聚合物纳米纤维及其应用》PDF+DOC 随着器件小型化的需要以及分子器件的发展，基于纳米及亚微米尺度的分子材料近十年来备受关注.一维纳米结构具有本征各向异性，有利于电荷传输，是研究电子传输行为的理想体系.通过静电纺丝能够快速大量地制备聚合物纳米纤维，其孔隙率高、比表面积大，是当前一条行之有效的、重要的制备光电功能聚合物一维纳米结构的路线.......
    9. 《静电纺丝纳米纤维的应用进展》PDF+DOC 近年来静电纺丝技术在制备纳米纤维领域得到了广泛应用，被认为是制备纳米纤维最简单有效的方法之一。通过静电纺丝法制备的纳米纤维具有长径比大、孔隙率高、比表面积大等优点，在过滤材料、生物医学、传感器以及其他特殊领域都有着良好的应用前景。主要介绍了近几年来国内外静电纺丝纤维在过滤吸附膜、生物医学、传感器、防......
    10. 《NaNbO_3纳米纤维的可控制备与室温氢敏性能研究》PDF+DOC 采用静电纺丝技术制备NaNbO3纳米纤维，所得产物为单斜钙钛矿结构，直径为50~100 nm。纳米纤维的直径和表面光滑度均随着前驱体中聚乙烯吡咯烷酮(PVP)浓度的增加而提高。利用叉指电极组装氢敏元件，所得元件在室温下对空气中体积分数为(1 000~8 000)&#215；10-6的氢气表现......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。