作者:陈艳香,石云波,智丹,杨志才,邹坤,冯恒振 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2016年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2016050060 DOC编号:DOCYBJS2016050069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种大量程加速度传感器的性能测试》PDF+DOC2013年第06期 周智君,石云波,唐军,丁宇凯 《高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析》PDF+DOC2016年第07期 王艳阳,石云波,王华,康强,杨志才 《高冲击加速度传感器频响窄脉冲标定测试技术》PDF+DOC2020年第10期 郝彦朋,张振海,许朝阳,何光 《三分量全保偏光纤加速度传感器的研究》PDF+DOC2005年第10期 罗洪,熊水东,胡永明,倪明 《基于FPGA的自适应数字传感器设计》PDF+DOC2012年第02期 唐贵,郭涛 《单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析》PDF+DOC2012年第09期 石云波,赵锐,唐军,刘俊,李科杰 《一种直升机旋翼振动测试方法》PDF+DOC2019年第02期 郭占社,黄凯祥,王国华 《在线检测铣刀磨损的实验研究》PDF+DOC1989年第08期 褚同生 ,史维祥 ,林延圻 《基于翼尖加速度的旋翼共锥度测量方法研究》PDF+DOC2011年第05期 蔡成涛,邓超,翁平,陆军 《多梁结构压阻式测振加速度传感器》PDF+DOC2013年第08期 刘岩,赵玉龙,孙禄,张学锋,蒋庄德
  • 针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器,通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金森杆冲击校准装置,测试了传感器的灵敏度和频响特性。试验结果表明:该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为15.5 k Hz;Y轴方向的灵敏度为(0.517±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为16.9 k Hz。该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量,可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器。

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