作者：杨晟辉,丁俊文,张国军,裴毓,尚珍珍 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2018年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2018040290 DOC编号：DOCYDSG2018040299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计》PDF+DOC2016年第02期 郭静,张国军,刘源,王续博,张文栋 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC2009年第03期 张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC2004年第01期 王亚珍,朱文坚 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC2013年第02期 刘林仙,张国军,许姣,张文栋 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC2012年第09期 刘林仙,张国军,许姣,张慧,李振,张文栋 《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC2011年第06期 宋小鹏,张丛,赵玉林,尹彦梅,石归雄,薛晨阳 《基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器》PDF+DOC2009年第05期 宫铭举,何庆,汤亮,马军,乔东海,邓越,王孟姣 《不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响》PDF+DOC2008年第03期 隋鸿鹏,张威

    • 目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈。大量实验表明，水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系。为保证水听器具有20~500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽，急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度。该文在普通纤毛式MEMS矢量水听器的基础上，提出在柱形纤毛上集成十字扇面，通过增大声压接收面积，来提高低频探测的灵敏度。通过ANSYS Workbanch多参优化确定十字扇面的尺寸，通过ANSYS15.0对优化后的尺寸进行验证。利用微机械加工法集成扇面与柱形纤毛，利用水听器校准系统来测试扇面纤毛式矢量水听器的灵敏度，结果表明，灵敏度满足每频程6dB的增长趋势，在500 Hz时灵敏度达到-183.6dB(0dB=1V/μPa)，比普通结构提高了近5dB。

    📙 相关资料

    1. 《四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计》PDF+DOC 针对当前的MEMS矢量水听器存在左右舷模糊问题，提出了一种四元阵型MEMS矢量水听器微结构。首先，从理论上分析了当前的MEMS矢量水听器左右舷模糊问题，从而提出了可消除左右舷模糊的四元阵型MEMS矢量水听器微结构。其次，对四元阵型MEMS矢量水听器微结构进行有限元仿真，声源方向可以通过分析各阵元应力......
    2. 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术，解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构，完成了传感器仿生微结构......
    3. 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC 简要介绍微机电系统在各个领域的应用。...
    4. 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC 介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势；分析了单片集成MEMS技术实现的难点，同时，给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程；详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后，给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。...
    5. 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。...
    6. 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC 根据当前声纳系统的需求，以MEMS技术为依托，结合仿生原理、压阻原理，提出了一种双T型矢量水听器。在分析T型梁结构力学特性的基础上，详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真，得出两种微结构的谐振频率分别为1 993.3 Hz和10.17 kHz；利用MEMS加工工艺加工......
    7. 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC 针对在同一个物理测试过程中，往往会遇到很多所需测量振动信号的大小和频率在大范围内变化，而一个振动传感器很难满足测试要求的情况，提出了一种四单元集成阵列式仿生矢量振动传感器，4个微结构传感器量程分别为：10，100，500，1 000 gn。在分析敏感结构数学模型的基础上，用ANSYS软件对阵列敏感元......
    8. 《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析，通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响，理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试，测出......
    9. 《基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器》PDF+DOC 在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上，提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器。模拟仿真和结构参数优化，为实践提供了理论依据。在此基础上，探索性的研制了圆形振动膜半径为40mm，气隙厚度为50μm的低频传声器，实验表明，该传声器具有较高的灵敏度，当偏置电压为6......
    10. 《不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响》PDF+DOC 为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响，采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后，对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可以看出，对于压阻区(P-区)，A#和B#的方块电阻在开始注入扩散时相差很小，而由于注入杂质在高温下进......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。