《程序降温下金属氧化物气敏材料的高通量筛选》PDF+DOC
作者:王永庆,张顺平,张春雷,杜妍
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2018年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2018060150
DOC编号:DOCCGQJ2018060159
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利用微滴预混转印装置并行合成了三元复合三氧化钨(WO_3)、氧化锡(SnO_2)以及氧化钴(Co_3O_4)的金属氧化物气敏膜;利用气敏材料高通量性能测试平台,使用程序降温方法对合成的气敏膜在乙醇气氛下进行测试。配套平台能够快速完成材料的“并行合成-高通量筛选”,大幅提高了气敏材料的研发效率。实验获得了45种复合气敏膜在程序降温下的敏感度最大值,发现动态敏感度最大的是23号材料(WO_3,Co_3O_4,SnO_2为1︰2︰5),其对50×;10~(-6)乙醇的动态响应高达-821.5(p型响应),充分说明了平台设备在气敏材料研发中的优势。
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