作者：薛国芳,张培彦 单位：东南大学 出版：《电子器件》2018年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2018050100 DOC编号：DOCDZQJ2018050109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 论证了一种基于SOI(Silicon On Insulator)片上工艺的，通过光强差分测量加速度的微光机电系统(MOEMS)加速度计。器件主要结构为较大悬浮质量块对称两端加工出两面V型反射镜。系统整个微机械结构在细直弹性梁支撑下，因受惯性力作用V型镜发生位移改变，从而将引入系统中的光信号进行差分反射。最后，通过外部光电探测器测量出各通路光纤的光强信号来测算加速度值。片上微加工所得的器件经实验测量得到了：7.77&#215；10-2μm的结构灵敏度，1.38 k Hz谐振频率，3.73m V/gn器件灵敏度和0.987的线性度。

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