作者：喻兰芳,梁庭,熊继军,崔海波,刘雨涛,张瑞 单位：华北计算机系统工程研究所 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJY2014110350 DOC编号：DOCDZJY2014110359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 高温压力传感器研制的主要目的是解决高温恶劣环境下的压力测量问题，SiC是制造高温压力传感器的理想材料，结合薄膜技术与陶瓷厚膜技术，提出了一种新型的4H-SiC无线无源电容式高温压力传感器设计方案。应用Ansys有限元分析软件进行仿真，600℃时灵敏度为2.65 MHz/bar，说明传感器在高温下具有较高的灵敏度，对制备过程中的关键工艺——SiC深刻蚀进行了验证，刻蚀深度达到124μm，满足传感器制备要求。

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