《飞秒激光在单模光纤中精密加工微孔及其传感应用》PDF+DOC
作者:王解,赵宗晨,江超,刘昌宁,孙四梅
单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
出版:《激光与光电子学进展》2020年第11期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGDJ2020110250
DOC编号:DOCJGDJ2020110259
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利用飞秒激光油液辅助的加工方式,在单模光纤端面附近制作出20μm直径的精密柱形微孔。利用微孔与光纤端面形成了具有明显光拍和游标效应的法布里-珀罗传感器,实现了对环境参数的测量。实验结果显示了传感器对外界温度、湿度、折射率以及气压具有较好的线性响应,传感器具有-0.0669dB/℃的低温灵敏度、0.74nm/%RH的湿度灵敏度、6.5nm/RIU的折射率灵敏度、12.23pm/℃的高温灵敏度以及1.743dB/MPa的气压灵敏度。该传感器具有制作简单、性能稳定、结构紧凑等优点。
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