作者：周迎杰,杨浩月,孙永娇,胡杰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020050040 DOC编号：DOCBDTQ2020050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用水热法合成了Co_3O_4、ZnO和Zn/Co金属有机框架(Zn/Co-MOF)纳米结构。利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对其形貌和晶体结构进行了表征，分析结果表明制备的Zn/Co-MOF为边长约300 nm的立方体结构。制备了基于Co_3O_4、ZnO和Zn/Co-MOF纳米结构的气体传感器，并对正丁醇进行了气敏性能研究。实验结果表明：三种气体传感器对正丁醇均有明显的响应，其中Zn/Co-MOF气体传感器的气敏性能最优。Zn/Co-MOF气体传感器最佳工作温度为200℃，其对体积分数为1&#215；10~(-4)正丁醇气体的灵敏度为59.18，响应/恢复时间分别约为39 s和40 s。同时，Zn/Co-MOF传感器还具有良好的选择性、重复性和长期稳定性。

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