作者：李博,王娟,沈路 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013070100 DOC编号：DOCBDTQ2013070109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对MEMS振动传感器批量化标定要求，建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统，可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型，并根据静态参数和动态参数的标定要求，利用振动台、标准传感器、上位机电脑以及后台程序建立了MEMS振动传感器自动标定系统；通过数字编程接口，可以实现振动传感器的自动标定。最后，以中国电子科技集团公司第十三研究所研制MSA1000系列振动传感器作为试验对象，对传感器的偏值、标度因数、幅频及相频特性进行了标定和比对测试，充分验证了此种方法的效果和正确性，有效提高了MEMS振动传感器的标定效率。

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