作者：张旭辉,徐爱东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2015年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2015080070 DOC编号：DOCBDTQ2015080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件，其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路，对其微加热器进行闭环温度控制，相比传统的模拟闭环控制电路，该电路结构简单，对元件失配性要求低，在实现温度控制的同时实现了加热器激励信号的数字化。此外，作为调节控制的MOS管工作在开关状态，显著降低其功耗和对功率容量的要求。重点介绍了微加热器的热电等效模型、热Σ-Δ调制控制的基本工作原理、实现电路与测试结果等，实验数据表明微加热器温度控制环路信噪比可达60 dB以上。将其应用于一款可探测挥发性有机物(VOC)的MEMS气体传感器，温度控制稳定性达到0.75%，满足了传感器性能要求。

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