作者：张瑞,梁庭,刘雨涛,王心心,王涛龙,熊继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015070060 DOC编号：DOCYBJS2015070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中设计了一种浅凸台结构的SOI压阻式压力传感器。这种膜片结构解决了由于压力量程扩展导致传感器的灵敏度和线性度无法同时满足使用要求的问题。考虑电阻的设计约束以及浅凸台制作过程中的光刻和刻蚀偏差，采用U型电阻保持高灵敏度和线性度。利用ANSYS软件模拟了膜片结构的力学性能，验证了理论分析的正确性；仿真优化了电阻的形状和位置，预估了传感器的性能。介绍了敏感单元的加工工艺。设计的传感器灵敏度为93.4μV/(V&#183；k Pa)，非线性误差小于0.22%，可实现对量程高达10 MPa压力的测量。

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