作者：卢文川,张金平,王孝坤,张忠玉,郑立功,张学军 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2012年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2012040070 DOC编号：DOCGXJS2012040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段，被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差，表面反射率较低，采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低，造成普通干涉仪无法进行全口径测量，而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求。鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度，提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形，研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统，分析了系统误差来源，并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前，对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量，并与干涉仪的测量结果进行了对比。对比结果表明，Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的，并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足，从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性。

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