作者：彭东林,付敏,朱革,郑方燕,李彦 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2014年第12期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2014120230 DOC编号：DOCGXXB2014120239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种光强正交调制式新型线性位移检测方法。该方法采用基于光强正交变化的两路电驻波合成电行波信号，将空间位移的变化调制到电行波信号相位差的变化上，用鉴相的方法实现空间位移的测量。为了优化传感参数并提高测量精度，对传感器不同参数条件下光场分布情况与误差特性进行了研究。根据其结构特征，对光场分布引起的测量误差进行分析，并利用Tracepro软件建立三维光场仿真模型，对不同参数条件下光场分布进行分析；再通过实验验证，得到不同参数与误差特性之间的关系；根据仿真和实验结果，对传感器参数进行优化设计。初步实验表明：在108mm测量范围内，传感器精度达到&#177；0.5μm。为此新型传感器优化设计和精度提高提供了可靠的理论依据和技术支持。

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