作者：卞贺明,边超,佟建华,孙楫舟,张虹,韩泾鸿,夏善红 单位：中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版：《电子与信息学报》2012年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZYX2012050410 DOC编号：DOCDZYX2012050419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片，并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统，探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备，使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料，其具有良好的电催化氧化能力，可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测，对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明，在0.5~10 mg/L的测试范围内，检测电流与氨氮浓度保持良好的线性，灵敏度为1.62μA/(mg/L)，线性相关系数为0.995，重复性偏差为5.73%。同时，传感器显示出良好的选择性。

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