作者：郑晓峰,曾其勇,李柱,吴凯,朱明 单位：中国兵器工业第五九研究所;中国兵工学会防腐包装分会;中国兵器工业防腐包装情报网 出版：《表面技术》2012年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBMJS2012020310 DOC编号：DOCBMJS2012020319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC2008年第09期 朱亚民,张军,崔云先,孙奉道 《化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制》PDF+DOC2006年第03期 曾其勇,孙宝元,徐静,贾颖,崔云先,邓新禄,徐军 《磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器》PDF+DOC2006年第02期 贾颖,孙宝元,曾其勇,徐静 《CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究》PDF+DOC2014年第03期 马旭轮,苑伟政,马炳和,邓进军 《基于响应曲面法的溅射沉积薄膜工艺参数优化》PDF+DOC2017年第07期 孟萌,武文革,张勇,成云平,刘丽娟,隋安平 《S枪磁控溅射镍薄膜温度传感器》PDF+DOC1996年第02期 凌明芳,郝永德,林洪,陈卢金 《MEMS压力传感器原理及其应用论述》PDF+DOC2015年第06期 林智春 《2019年钼业年评》PDF+DOC2020年第02期 蒋丽娟,李来平,刘晓辉,曹亮 《磁控溅射TiN膜并智能化处理的液位传感器研究》PDF+DOC2002年第01期 赵龙章,梁荣庆 《新型薄膜切削温度传感器动态特性的理论计算》PDF+DOC2007年第02期 曾祥森,崔云先,张志军,孙宝元

    • 采用磁控溅射法制备NiCr-NiSi薄膜，以溅射功率、溅射时间、溅射气压及基片负偏压作为四因素进行正交试验，制备了9种性能不同的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀头，对每片测温刀头上薄膜与刀体之间的附着力进行了测试，并对测试结果进行了极差分析。分析结果表明：在4个溅射因素当中，基片负偏压是影响薄膜附着力大小的最主要因素，在一定范围内，增大基片的负偏压值可提高薄膜的附着力。验证试验表明，NiCr薄膜溅射参数为溅射功率90W、溅射时间30min、溅射气压0.45Pa、基片偏压-110V，NiSi薄膜溅射参数为溅射功率100W、溅射时间40min、溅射气压0.4Pa、基片偏压-110V，可使NiCr和NiSi薄膜的附着力值分别约增大3.2N和1.5N。

    📙 相关资料

    1. 《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC 采用磁控溅射法，在刀具材料为W18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器既能满足切削要求，同时又能够快速采集温度信号，并对其进行了静态和动态标定，实验范围内线性误差为0.56%，时间常数为12.7 ms，响应迅速，满足实验要求。最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分......
    2. 《化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制》PDF+DOC 针对化爆材料的切削特点，研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘，即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4......
    3. 《磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器》PDF+DOC 介绍了NiCr/NiSi薄膜热电偶制作方法与过程。与多弧离子镀法相比，采用磁控溅射法镀制的热电偶薄膜成分与靶材接近，膜层致密均匀、平整光滑，临界厚度薄。对研制的NiCr/NiSi薄膜热电偶进行了静态标定与动态标定，薄膜热电偶的灵敏度为40.1μV/℃，线性误差不大于0.75%，时间常数小于0.35 ......
    4. 《CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究》PDF+DOC 在碳纤维增韧补强碳化硅陶瓷复合材料(CFCC-SiC)表面制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器结构自下而上依次为CFCC-SiC陶瓷基底、SiO2过渡层，Al2O3绝缘层及NiCr/NiSi热电偶层。对所制备传感器进行了静态标定，其在300℃~700℃范围内具有稳定的热电动势输出，平均Seeb......
    5. 《基于响应曲面法的溅射沉积薄膜工艺参数优化》PDF+DOC 为了研制出适用于高温等恶劣环境且性能优良的用于切削力测量的合金薄膜传感器，结合新型合金薄膜材料的基本性能和离子束、磁控溅射技术，研究了新型薄膜传感器的制作工艺，建立了影响薄膜溅射速率的试验分析模型，研究了氩气流量、氩气工作压强及溅射功率三个因素对薄膜溅射速率的影响，应用响应曲面法对模型进行了优化，并......
    6. 《S枪磁控溅射镍薄膜温度传感器》PDF+DOC 本文分析了薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力的方法，应用正交试验技术得出了最佳工艺条件，应用S枪磁控溅射方法和薄膜工艺制成了零电阻分别为100Ω、500Ω、1000Ω的镍薄膜电阻元件，其电阻温度系数达到德国DIN43760标准。...
    7. 《MEMS压力传感器原理及其应用论述》PDF+DOC MEMS压力传感器在土木工程、电力系统、城市建设、环境监测、航空航天等领域得到了普遍的应用。对此，本文对MEMS压力传感器的基本原理构造及在社会各领域中的应用进行了详细论述。...
    8. 《2019年钼业年评》PDF+DOC 评介了2019年世界钼的供给、消费和价格，概述了国内外钼业的各种技术创新，如钼的矿冶工程、化学工程、材料工程等研究的新进展以及其他钼的前沿科技。...
    9. 《磁控溅射TiN膜并智能化处理的液位传感器研究》PDF+DOC 提出用磁控溅射在弹性元件的表面生成TiN薄膜的方法 ，阐述了二元线性插值法智能补偿的原理和效果 ，实现了响应快和精度高的要求。...
    10. 《新型薄膜切削温度传感器动态特性的理论计算》PDF+DOC 针对一种薄膜切削温度传感器建立了新的一维非稳态热传导的模型，通过理论计算，得出传感器的动态响应特性τ=1.199 m s；对薄膜热电偶传感器进行动态标定试验，得出热电偶传感器的时间常数为τ=0.8 m s，证明了该热传导模型的正确性，为薄膜热电偶的进一步研究提供了理论依据。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。