作者：徐高平,周雪云,魏建宁,官春林 单位：重庆市光学机械研究所 出版：《激光杂志》2012年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGZZ2012060180 DOC编号：DOCJGZZ2012060189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了验证哈特曼-夏克波前传感器在光线斜入射到被测物体表面时所测数据的可靠性，本文采用变形镜模拟激光镜面热畸变，使变形镜在不同的驱动电压下产生相应的形变，用哈特曼-夏克波前传感器作为测量仪器，分别以垂直入射法和斜入射法测量了变形镜在各驱动电压下的形变数据。对比两种方法测得的波前像差峰谷值(PV值)数据发现，斜入射法测得的数据小于垂直入射法测得的真实数据，两者之间的相对偏差随形变量的增大而增大，且与入射角密切有关，随着入射角的增大，相对偏差明显增大。若将斜入射法测得的数据除以入射角的余弦对数据进行修正，结果与真实数据吻合很好，波前像差PV值最大相对偏差不到2%。

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