作者：杨晓虎,周勇,雷冲 单位：中国西南应用磁学研究所 出版：《磁性材料及器件》2012年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCXCQ2012010120 DOC编号：DOCCXCQ2012010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 首先论述了微型平面磁通门传感器的原理和结构，在此基础上，详细介绍了基于微机电机械加工技术(MEMS)的集成磁通门传感器探头的制作过程(包括溅射、电镀、光刻、反应离子刻蚀(RIE)等)。分别采用高磁导率、低矫顽力的Co基非晶合金带材以及坡莫合金作为磁心制成磁通门探头。测试结果表明，在40kHz激励频率下，带材磁心探头的工作范围为&#177；75μT，而坡莫合金磁心探头为&#177；60μT，灵敏度分别为31.07V/T和23.76V/T。结果基本可以满足地磁场&#177；60μT的测量要求。

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