作者：张子立,殷晨波,朱斌,陶春旻 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2012年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2012050080 DOC编号：DOCNMJM2012050089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析，分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃，气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程，过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件.对传感器进行了气敏测试，实验结果表明该传感器拥有良好的气敏性能，在300℃下对50&#215；10-6到2 000&#215；10-6氢气的灵敏度逐渐递增，反应时间可控制在10 s以内。

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