作者：王宏伟,王丽坤,黄旭 单位：北京信息科技大学 出版：《北京信息科技大学学报(自然科学版)》2015年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJGY2015030030 DOC编号：DOCBJGY2015030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用弹性较好的铍青铜材料作为振动元件，结合“三明治”式差动电容检测结构，设计制作了倾角传感器。给出了敏感头结构尺寸，利用弹性力学分析了传感器的力学特性，推导出被测倾角和铍铜元件偏角的关系，计算了电容敏感的电桥输出电压和铍铜元件偏角的关系。通过工艺加工制作出了10个敏感头，对其中5个进行了测试，倾斜仪的比例系数大约为16.4m V/(&#176；)。该传感器结构简单，成本低，使用方便，敏感头性能良好。

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