作者：郭智博,汪莱,郝智彪,罗毅 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2012年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2012120070 DOC编号：DOCZKKX2012120079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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