作者：高忠华,陈锡侯,杨继森,彭东林 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012080260 DOC编号：DOCCGQJ2012080269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了进一步提高直线时栅位移传感器的测量精度，在建立该传感器周期误差、阿贝误差、热膨胀误差的全误差模型基础上，提出了一种组合校准的方法，利用傅里叶谐波分析和材料线膨胀原理对直线时栅的各种误差进行修正，修正后的精度可达&#177；0.5μm/m。实验证明：该方法解决了直线测量中误差难以分离的问题，同时解决了计算机连续自动采样问题，提高了标定效率，使该方法广泛地应用于生产实践成为可能。

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