作者：石照耀,尚岳,王笑一,刘建刚 单位：北京工业大学 出版：《北京工业大学学报》2016年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJGD2016030020 DOC编号：DOCBJGD2016030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 长光栅传感器的静态精度的检测方法较为成熟，而其动态精度的检测尚没有一个有效的解决办法.针对此问题，研制了一种以高精度光栅尺为基准的长光栅动态误差检测系统.仪器主要由机械系统、测控系统、软件系统组成，通过在有效行程上与高精度光栅对比获得被测光栅的误差曲线.仪器采用直线电机驱动，保证了检测速度的要求，同时提高了长光栅传感器的检测效率.设计基于FPGA的双路光栅信号高速采集卡对光栅信号检测，解决了测量中同步触发问题及高速触发采样数据的处理问题.结果表明：本系统能够实现对光栅的动态精度的检测，检测效率高，适用于生产现场的大批量快速测量。

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