作者：唐军,刘尧,刘俊,郭浩,石云波,张贺,温涣飞,赵锐 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012050030 DOC编号：DOCCGJS2012050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以飞蛾触角导航为仿生依据，通过建立其导航数学模型，利用MATLAB对该模型的导航原理进行仿真分析，结合仿生学，设计了一种新型MEMS三维角速度传感器模型，并对该传感器的加工工艺进行了设计，该传感器主要由折叠梁和坡莫合金棒组成，通过ANSYS分析，在9 V驱动电压的作用下，合金棒沿X、Y的振动幅度可达到80μm，通过理论计算，由偏航角速度产生的哥氏力为0.908&#215；10-8N/(&#176；&#183；s-1)，由翻滚和俯仰角速度产生的哥氏力为0.18&#215；10-9N/(&#176；&#183；s-1)。

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