作者：黄辉,傅惠南,库才高 单位：南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版：《机械制造与自动化》2012年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZHD2012060060 DOC编号：DOCZZHD2012060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在单晶金刚石弹性研磨过程中，测量研磨盘浮动的涡流传感器与盘面的距离较小，不利于研磨盘的调整。为了提高测量距离，提出了一种基于光学鼠标传感器ADNS3080的中远距离的微位移测量方法，分析了测量原理，对测量系统的光路、显示窗口、数据的存储、测量软件部分进行了设计。并通过试验证明该方法能实现中远距离微位移的测量。

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