《硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)》PDF+DOC
作者:刘妤,温志渝,陈李,杨红韵
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2012年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2012040060
DOC编号:DOCCGJS2012040069
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设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
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