作者：刘振亚,苑伟政,邓进军,任森,马骋宇 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2012年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2012060210 DOC编号：DOCYDSG2012060219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器，结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺，增大流体间隙，减小振动阻尼，并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响，以验证结构的高指向性。结果表明，在流体间隙从5μm增大到30μm时，振动振幅增大30倍，相位差最高增大126&#176；，当入射角度变化量为80&#176；时，相位差变化量增大了40&#176；，传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。

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