作者：张普,傅兴华,王俊强,吴次南,刘泽文 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2012年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2012060130 DOC编号：DOCBDTJ2012060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于电阻温度系数(TCR)原理及微机电系统技术，设计并制作了一种用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的Pt温度传感器及其读出电路。利用溅射和剥离技术将厚度为100 nm的弯曲条形Pt传感器制作在硅衬底上。其长度和宽度分别为2 030μm和10μm。设计了基于四线法温度测量的读出电路，该电路主要包括一个恒流源电路和一个电压放大电路。测试结果表明，该传感器的电阻温度系数为1.48&#215；10-3℃-1，其电阻变化随着温度的变化具有良好的线性度，当温度在27～100℃变化时，电阻范围在653.5～716.5Ω变化。在接出一个8位的模数转换器以后，整个传感器和读出电路能确保一个精度为0.2℃的温度控制，满足一般PCR测量需要。

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