作者：张金华,陈良洲,刘晓军 单位：中国电子科技集团公司光电研究院 出版：《光电技术应用》2012年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDYG2012030130 DOC编号：DOCGDYG2012030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点。文中详细阐述了传感器的测量原理，并对此理论原理进行ZE MAX软件仿真。与此同时，基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布。结果表明，激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹，且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期。最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素，以及这些因素对测量结果的影响，文中给出了部分因素的误差表达式。

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