《金属氧化物直热式气体传感器的制作工艺研究》PDF+DOC
作者:刘宏,刘东升,谷云峰
单位:山西省电子工业科学研究所;山西省电子学会
出版:《山西电子技术》2012年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSXDS2012030350
DOC编号:DOCSXDS2012030359
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金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。
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